Mit der LDE / LME / LMI Baureihe hat AMSYS (http://www.amsys.de) nun auch Niedrigstdrucksensoren ab einem Druckbereich von nur 25 Pa im Angebot, die auf der patentierten Micro-Flow Technologie von First Sensor basieren. Dabei wurde die thermischen Massendurchflussmessung miniaturisiert in ein nur 2 x 2 mm² großen Siliziumchip durch Mikrostrukturierung integriert. Ihre hohe Sensitivität bei […]
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