Das neue Luxtron M-1100 System ist ideal für plasmagestützte Depositions- und Ätzprozesse von Halbleitern und arbeitet von -200°C, dem Beginn des kryogenen Bereichs, bis hin zu „Hot-Chuck“ Temperaturen von 450°C mit einer branchenführenden Genauigkeit von +/- 0,1°C und einer Stabilität von +/- 0,05°C. Die Integration von fünf Kanälen ermöglicht die Überwachung mehrere Sonden über einen einzigen Konverter, während flexible Kommunikationsausgänge eine digitale Überwachung, Aktualisierung und Systemintegration vereinfachen.
„Eine genaue Überwachung über einen breiten Temperaturbereich ist von entscheidender Bedeutung, da Halbleiterhersteller die komplexen Ätz- und Depositionsanforderungen für Fertigungsprozesse der nächsten Generation erfüllen müssen“, sagte dazu Dhaval Dhayatkar, VP und General Manager des Bereichs CSC bei Advanced Energy. „Das Luxtron M-1100 baut unsere Führungsposition in der hochpräzisen, phosphorbasierten, faseroptischen Thermometrie weiter aus und erfüllt die Anforderungen unserer Kunden, ihren Messaufwand zu minimieren und eine Integration mit Überwachungs- und Steuersystemen zu ermöglichen.“
Hierfür verwenden Luxtron FOT Messsysteme faseroptische Sonden mit Phosphor-Messfühler-technologie und kombinieren Hochleistungswandler mit einer fortschrittlichen Lichtquelle, einem proprietären Softwarealgorithmus und rauscharmen Verstärkerschaltungen.
Das Luxtron M-1100 ist das erste Modell, das sowohl über analoge als auch über EtherCAT Kommunikations-Schnittstellen verfügt.
Der neue Wandler vereinfacht die Implementierung durch einfache Wandmontage an der Seite des zu überwachenden Systems. Ingenieurteams von Advanced Energy arbeiten weltweit eng mit OEMs zusammen, um kundenspezifische Messfühler für modernste Anwendungen zu entwickeln und stetig zu verbessern.
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Das Luxtron M-1100 System wird auf der SEMICON West 2023, 11.-13. Juli im Moscone Center in San Francisco, Kalifornien am Stand von AE, #960, ausgestellt.
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Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) ist ein weltweiter Marktführer in der Gestaltung und Herstellung hoch technisierter, präziser Stromumwandlungs-, Mess- und Kontrolllösungen für missionskritische Anwendungen und Prozesse. Die Energielösungen von Advanced Energy ermöglichen Kundeninnovation in komplexen Anwendungen für eine Vielzahl von Branchen, wie Halbleiterausrüstung, industrielle Produktion, Medizin und Biowissenschaft, Rechencenter-Computing, Vernetzung und Telekommunikation. Mit technischem Know-how und einem reaktionsfähigen Service und Support für Kunden rund um den Globus geht das Unternehmen zur Erfüllung von Technologiefortschritten kooperative Partnerschaften ein, fördert das Wachstum seiner Kunden und führt Neuerungen in die Zukunft der Stromversorgung ein. Advanced Energy hat sich vier Jahrzehnte der Perfektionierung der Stromversorgung gewidmet. Der Hauptsitz befindet sich in Denver, Colorado, USA.
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