Zur Analyse der mikroskopischen Strukturen der Wafer müssen diese an einer definierten Bruchkante geteilt werden. Dafür werden mit Hilfe eines Härteprüfgerätes von Hegewald & Peschke mit definierter Kraft und präziser Wiederholgenauigkeit Sollbruchstellen auf dem Waferstück gesetzt. Der Knoop-Eindringkörper des Härteprüfers hinterlässt auf dem Waferstück einen rhombischen Pyramideneindruck. Durch den Winkel-Drehtisch des Härteprüfgerätes wird sichergestellt, dass die Eindrücke senkrecht zu den kristallografischen Hauptachsen des Siliziumeinkristalls verlaufen und Initialrisse zwischen den Spitzen der Eindrücke auftreten. Beim anschließenden Brechen des Waferstücks verläuft die Bruchkante mikroskopisch genau durch die anvisierte Struktur, so dass deren Querschnitt im Anschluss im Rasterelektronenmikroskop charakterisiert werden kann.
Die Methode der Bruchkantenerzeugung mit dem Härteprüfer stellt eine kostenattraktive Alternative zu teuren Spezialgeräten dar und hat sich im Einsatz optimal bewährt.
Der Mess- und Prüftechnik-Spezialist mit Sitz in Nossen bei Dresden entwickelt, produziert und vertreibt seit 1990 hochwertige Maschinen, Komponenten und Softwarelösungen zur Werkstoff-, Bauteil- und Komponentenprüfung. Hierzu gehören z. B. Universalprüfmaschinen, Härteprüfgeräte, Bauteil- und Möbelprüfstände sowie verschiedene Längenmessvorrichtungen für Industrie und Forschung. Die 70 Mitarbeiter des Unternehmens mit Vertriebsbüros in ganz Deutschland bieten zudem verschiedene Services rund um das Thema Prüfen und Messen sowie die Nachrüstung von Universalprüfmaschinen. In den Bereichen Konstruktion und Softwareentwicklung pflegt Hegewald & Peschke enge Kooperationen mit Hochschulen und Fraunhofer-Instituten, wodurch das hohe Niveau der Produkte sowie deren technische Aktualität sichergestellt werden. Hegewald & Peschke wurde nach ISO 9001 zertifiziert bietet Kalibrierungen mit DAkkS-Akkreditierung an. Weitere Informationen über die Hegewald & Peschke GmbH finden Sie im Internet unter www.hegewald-peschke.de.
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